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华虹12寸晶圆厂装备大陆最先进沉浸式光刻机:迈向14nm

  • 产品时间:2021-11-06 00:01
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简要描述:中芯国际花上了1.2亿美元从荷兰ASML(阿斯麦)买了一台EUV极紫外光刻机,未来可用作生产7nm工艺芯片,长江存储也步入了自己的第一台光刻机,某种程度来自ASML,不过是193nm沉浸式,用作产20-14nm工艺的3DNAND存储器晶圆,7200万美元一台。...

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本文摘要:中芯国际花上了1.2亿美元从荷兰ASML(阿斯麦)买了一台EUV极紫外光刻机,未来可用作生产7nm工艺芯片,长江存储也步入了自己的第一台光刻机,某种程度来自ASML,不过是193nm沉浸式,用作产20-14nm工艺的3DNAND存储器晶圆,7200万美元一台。

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中芯国际花上了1.2亿美元从荷兰ASML(阿斯麦)买了一台EUV极紫外光刻机,未来可用作生产7nm工艺芯片,长江存储也步入了自己的第一台光刻机,某种程度来自ASML,不过是193nm沉浸式,用作产20-14nm工艺的3DNAND存储器晶圆,7200万美元一台。

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